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DPAシリーズ

油拡散ポンプ DPAシリーズ <新シリーズ>

DPA-28
DPA-28
◆特長
  • 消費電力を従来比4割削減した省エネ型ポンプ(内熱式ヒータ)
  • シェブロンバッフルの採用により油逆流量を従来比1/10に大幅削減
  • 質量を従来比1/2にし軽量コンパクト化を実現
  • 交換可能な内熱式ヒータを採用
  • クイックスタート(従来品に比べ立ち上がり時間を1/2に短縮)
  • エジェクター作用を兼ね備えたジェットにより臨界背圧を著しく高めました
◆用途
  • 大型蒸着装置、スパッタ装置等
  • 真空熱処理炉、真空溶解炉、真空ロー付炉用等
  • 各種真空排気装置

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◆製品仕様
形式 DPA-18 DPA-22 DPA-28 DPA-36
到達圧力 Pa 3.0×10-5 3.0×10-5 2.0×10-5 2.0×10-5
公称排気速度 (L/s) バッフルなし 9000 13000 20000 37000
実効排気速度 (L/s) バッフルなし *注1 8000 12800 17700 28200
実効排気速度(L/s) バッフルあり *注1 シェブロン
3700 5400 8000 12900
油逆流量(mg/cm2min)
吸入圧 10-5×10-1Pa
シェブロン
×10-6〜×10-5 ×10-6〜×10-5 ×10-6〜×10-5 ×10-6〜×10-5
無負荷臨界背圧 (Pa) *注2 59 65 67 61
所要電力 (kW) 3φ 200V 3.5 5.4 8 12
立ち上がり時間 (min) 30 30 30 40
所要水量 (L/min) *注3 5 7 12 18
質量 (kg) バッフル含む 110 167 255 450
全高 (mm) 床面より、バッフル含む 840 960 1170 1520
油量 (mL) ライオンS 2200 3000 4500 8000
  • *1 JIS B 8317-1:1999に準拠
  • *2 JIS B 8317-2:1999に準拠
  • *3 冷却水温度は入口側が10ºC以上、出口側が30ºC以下にてご使用願います(結露なきこと

*外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。

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