DPA Series油拡散ポンプ DPAシリーズ
DPA-24R、DPA-28R、DPA-36Rは輸出貿易管理令のリスト規制貨物に該当します。輸出等に関しては弊社営業部までお問合せ下さい。
- 特徴
-
消費電力を従来比(DPFシリーズ)4割削減した省エネ型ポンプ（内熱式ヒータ）／質量を従来比1/2にし軽量コンパクト化を実現／交換可能な内熱式ヒータを採用／立ち上がり時間を従来品(DPFシリーズ)より1/2に短縮／エジェクター作用を兼ね備えたジェットにより臨界背圧を著しく高めました
- 用途
-
大型蒸着装置、スパッタ装置等／真空熱処理炉、真空溶解炉、真空ロー付炉用等／各種真空排気装置
-
DPA-24R
製品仕様
形式
DPA-18
DPA-22
DPA-24R
DPA-28R
DPA-36R
到達圧力
Pa
< 3.0×10-5
< 2.0×10-5
公称排気速度
バッフル無し
L/sec
9000
13000
16000 *注3
20000 *注3
37000 *注3
実効排気速度
バッフル無し *注1
L/sec
8000
12800
13200
17700 *注3
28200 *注3
実効排気速度
ルーバーバッフル *注1
L/sec
4600
6900
7900
9800
17000 *注3
油逆流量
吸入圧 10-5～10-2Pa
ルーバーバッフル
mg/cm2·min
×10-5～×10-4
無負荷臨界背圧 *注2
Pa
59
65
65
67
61
所要電力
3φ 200V
kW
3.5
5.4
6.6
8.0
12.0
立ち上がり時間
min
30
30
30
30
40
所要水量
L/min
5
7
10
上回路3以上
下回路9以上
上回路5以上
下回路13以上
質量
バッフル含む
kg
110
167
210
250
440
全高
床面より、バッフル含む
mm
840
960
1050
1170
1520
標準作動油 油量
ライオンS
L
2.2
3.0
3.5
4.5
8.0
吸気口フランジ
VG 450
VG 550
VG 600
VG 700
VG 900
排気口フランジ
VG 100
VG 150
VG 150
VG 200
VG 200
外観寸法
[PDF] [DXF]
[PDF] [DXF]
[PDF] [DXF]
[PDF] [DXF]
[PDF] [DXF]
- ＊冷却水温度は入口側10ºC以上、出口側30ºC以下にてご使用願います。（結露なきこと）
- *注1 JIS B 8317-1:1999に準拠
- *注2 JIS B 8317-2:1999に準拠
- *注3 輸出貿易管理令のリスト規制貨物に該当
- *外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。
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DPA-24R、DPA-28R、DPA-36Rは輸出貿易管理令のリスト規制貨物に該当します。輸出等に関しては弊社営業部までお問合せ下さい。
- 特徴
- 消費電力を従来比(DPFシリーズ)4割削減した省エネ型ポンプ（内熱式ヒータ）／質量を従来比1/2にし軽量コンパクト化を実現／交換可能な内熱式ヒータを採用／立ち上がり時間を従来品(DPFシリーズ)より1/2に短縮／エジェクター作用を兼ね備えたジェットにより臨界背圧を著しく高めました
- 用途
- 大型蒸着装置、スパッタ装置等／真空熱処理炉、真空溶解炉、真空ロー付炉用等／各種真空排気装置
-
DPA-24R
製品仕様
| 形式 | DPA-18 | DPA-22 | DPA-24R | DPA-28R | DPA-36R | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 到達圧力 | Pa | < 3.0×10-5 | < 2.0×10-5 | |||
| 公称排気速度 バッフル無し |
L/sec | 9000 | 13000 | 16000 *注3 | 20000 *注3 | 37000 *注3 |
| 実効排気速度 バッフル無し *注1 |
L/sec | 8000 | 12800 | 13200 | 17700 *注3 | 28200 *注3 |
| 実効排気速度 ルーバーバッフル *注1 |
L/sec | 4600 | 6900 | 7900 | 9800 | 17000 *注3 |
| 油逆流量 吸入圧 10-5～10-2Pa ルーバーバッフル |
mg/cm2·min | ×10-5～×10-4 | ||||
| 無負荷臨界背圧 *注2 | Pa | 59 | 65 | 65 | 67 | 61 |
| 所要電力 3φ 200V |
kW | 3.5 | 5.4 | 6.6 | 8.0 | 12.0 |
| 立ち上がり時間 | min | 30 | 30 | 30 | 30 | 40 |
| 所要水量 | L/min | 5 | 7 | 10 | 上回路3以上 下回路9以上 |
上回路5以上 下回路13以上 |
| 質量 バッフル含む |
kg | 110 | 167 | 210 | 250 | 440 |
| 全高 床面より、バッフル含む |
mm | 840 | 960 | 1050 | 1170 | 1520 |
| 標準作動油 油量 ライオンS |
L | 2.2 | 3.0 | 3.5 | 4.5 | 8.0 |
| 吸気口フランジ | VG 450 | VG 550 | VG 600 | VG 700 | VG 900 | |
| 排気口フランジ | VG 100 | VG 150 | VG 150 | VG 200 | VG 200 | |
| 外観寸法 | [PDF] [DXF] | [PDF] [DXF] | [PDF] [DXF] | [PDF] [DXF] | [PDF] [DXF] | |
- ＊冷却水温度は入口側10ºC以上、出口側30ºC以下にてご使用願います。（結露なきこと）
- *注1 JIS B 8317-1:1999に準拠
- *注2 JIS B 8317-2:1999に準拠
- *注3 輸出貿易管理令のリスト規制貨物に該当
- *外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。
油拡散ポンプの他の取扱商品
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