DS-Z Series
[水冷シリーズ] [空冷シリーズ]

高真空排気装置 DS-Zシリーズ

特徴
コンパクトにユニット化され真空容器に容易に接続できる
高性能高真空排気装置/油回転ポンプと油拡散ポンプのシステム
空冷型・水冷型の2種類からお選び頂けます/簡易型ピラニ真空計、液体窒素トラップを標準装備しています/下記のような安全回路を装備しています
  • 油回転ポンプ停止後自動復帰防止
  • 油回転ポンプモータ過負荷保護
  • 油拡散ポンプの異常昇温防止
  • 油拡散ポンプヒータ過電流防止
  • 油拡散ポンプ冷却水圧低下警告及び油拡散ポンプOFF機能付
用途
各種真空の排気システムとしての利用に適しています
  • 高真空排気装置 DS-Zシリーズ
    DS-Zシリーズ

製品仕様[水冷シリーズ]

形式 DS-212Z DS-312Z DS-412Z DS-612Z
到達圧力 Pa ×10-4台(液体窒素未使用時)
排気速度 L/s 25 75 120 240
電力 kVA [50/60Hz]
1ф100V
1.8 1.9 2.2 2.4
粗引きポンプ容量 L/min 150 340 150 340
冷却時所要水量 L/min 0.5 1.0 1.5 3.0
質量 kg 68 82 85 192
液体窒素トラップ容量 L 0.26 0.52 0.94 1.9
主弁フランジ呼び径 A 50 80 100 150
外観寸法 [PDF] [DXF] [PDF] [DXF] [PDF] [DXF] -

製品仕様[空冷シリーズ]

形式 DS-A212Z DS-A312Z DS-A412Z
到達圧力 Pa ×10-4台(液体窒素未使用時)
排気速度 L/s 25 75 120
電力 kVA [50/60Hz]
1ф100V
1.8 1.9 2.2
粗引きポンプ容量 L/min 150
質量 kg 68 82 85
液体窒素トラップ容量 L 0.26 0.52 0.94
主弁フランジ呼び径 A 50 80 100
外観寸法 [PDF] [DXF] [PDF] [DXF] [PDF] [DXF]

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