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DS-Zシリーズ

高真空排気装置 DS-Zシリーズ

◆特長
  • コンパクトにユニット化され真空容器に容易に接続できる高性能高真空排気装置
  • 油回転ポンプと油拡散ポンプのシステム空冷型・水冷型の2種類からお選び頂けます
  • 簡易型ピラニ真空計、液体窒素トラップを標準装備しています
  • 下記のような安全回路を装備しています
    • 油回転ポンプ停止後自動復帰防止
    • 油回転ポンプモータ過負荷保護
    • 油拡散ポンプの異常昇温防止
    • 油拡散ポンプヒータ過電流防止
    • 油拡散ポンプ冷却水圧低下警告及び
      油拡散ポンプOFF機能付
◆用途
  • 各種真空の排気システムとしての利用に適しています

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◆製品仕様
  水冷シリーズ
形式 DS-212Z DS-312Z DS-412Z DS-612Z
到達圧力(Pa) ×10-4台(液体窒素未使用時)
排気速度(L/s) 25 75 120 240
電力(kVA)[50/60Hz]
1ф100V
1.8 1.9 2.2 2.4
粗引きポンプ容量(L/min) 150 340
冷却時所要水量(L/min) 0.5 1.0 1.5 3.0
質量(kg) 68 82 85 192
液体窒素トラップ容量(L) 0.26 0.52 0.94 1.9
主弁フランジ呼び径(A) 50 80 100 150
  空冷シリーズ
形式 DS-A212Z DS-A312Z DS-A412Z
到達圧力(Pa) ×10-4台(液体窒素未使用時)
排気速度(L/s) 25 75 120
電力(kVA)[50/60Hz]
1ф100V
1.8 1.9 2.2
粗引きポンプ容量(L/min) 150
質量(kg) 68 82 85
液体窒素トラップ容量(L) 0.26 0.52 0.94
主弁フランジ呼び径(A) 50 80 100

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