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ターボ分子シリーズ

高真空排気装置 ターボ分子シリーズ

◆特長
  • 好評頂いています高真空排気装置にTMP付仕様をラインアップ
  • 三方バルブにより、粗引が別系統で可能なため粗引時間の短縮が可能
  • 入力電源はAC100Vで、研究開発に最適
  • 冷却水不要
  • 簡易型ピラニ真空計を標準装備
  • オプションにて、コールドカソードゲージ又は、電離真空計の取付が可能
  • 既存の油拡散ポンプタイプの排気セットと同寸法にて設計していますので、入替が容易です
◆用途
  • ドライプロセスの真空排気に
  • 各種真空排気システム用
  • 研究・開発用

本排気装置は、従来の油拡散ポンプ式DS−Zシリーズに続き、ご要望の多かったターボ分子ポンプを搭載したタイプです。
従来の排気装置と同寸法にて設計しておりますので、現在ご使用の排気装置をそのまま交換することができます。

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◆標準仕様
形式 DS-305T DS-422T DS-435T
到達圧力 ×10-4Pa台
油回転ポンプ容量 150L/min
ターボ分子ポンプ容量 44L/s(N2) 220L/s(N2) 330L/s(N2)
主バルブフランジ呼経 50A 100A
電源(1ф AC100V) 1.3kVA 1.7kVA 1.7kVA
質量 67Kg 73Kg 74Kg

*オプション:各種真空計、ベローズガスバルブ 他

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