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高精度隔膜真空計

高精度隔膜真空計(F-tronシリーズ)

◆特長・用途
  • 表示分解能:6 1/2桁(従来の約2桁向上)
  • 精度:0.1%R
  • パルス信号伝送のためノイズ耐性圧倒的向上
  • 高速データ通信、自動零補正が標準で可能
  • 容積が従来の1/2以下
  • 成膜装置のプロセス圧力モニタリング
  • ガス置換、ガス封入などの圧力モニタリング
  • 真空蒸留、真空乾燥などの圧力モニタリング

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◆製品仕様
項 目 仕 様
型 式 FTR-1 (6 1/2桁表示器)+ F-133K(センサ)
フルスケールレンジ 133kPa
表示分解能 1ppm @ F.S.
精 度 0.1%R (23℃時)
温度係数ゼロ 使用温度10〜50℃間にて0.0004% of F.S/℃
温度係数スパン 使用温度10〜50℃間にて0.002% of Read/℃
データ更新速度 2.2 msec MAX
デジタル通信 RS-485 4線式全二重99ch
出力信号 DC0V - 10V
セットポイント出力 3点 フォトカプラ DC30V 50mA以下
表 示 10進6 1/2桁圧力表示、単位、セットポイント、温度安定
入力電源 非加熱Type:+24 VDC 0.2 A MAX
周囲温度 運転時:10〜50℃ 保管時:-10〜70℃
真空部材質 Silicon, SiO2, SUS304, Viton
真空接続 VCR8

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