反応室 |
- ジャケット水冷式円筒型真空槽
- 材質 SUS304
- サイズ ф140 x H200
- マイクロ波導入窓 ф160、石英ガラス製
- 覗き窓 ф14 x 2個、石英ガラス製
- 基板ホルダー 水冷銅製シャフト構造
- 試料台 ф1インチとф2インチ、モリブデン製 各1個
- 基板交換 反応室底部昇降式
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ガス導入系 |
- マスフローコントローラ 2系列 (3系列 ; メタン、水素、窒素など)
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真空計 |
- 隔膜真空計 F-tron真空計、133〜0.1 kPa
- ピラニー真空計 デジタル表示器、100〜0.01 kPa
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排気系 |
- 油回転ポンプ(ターボモレキュラーポンプ)
240 L/min、オイルミストトラップ付き
- 排気速度調整 手動 (または 自動圧力調整)
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マイクロ波電源 |
- 周波数 2.45 GHz
- 容量 0.5〜3 kW (5 kW)
- 導波管一式 パワーメータ など 一式
- 整合器 4Eチューナ型自動整合器 (手動E-Hチューナ)
- モード変換器 TE10→TM01 に変換
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