ピラニ真空計

ピラニ真空計
<TRP-11/TRP-11SP>

特長・用途
5×10-2Pa〜大気圧まで広範囲の圧力測定が可能/デジタル回路により温度補正機能を格段に向上させ高精度を実現/デジタル回路と独自のフィラメント構造により軽量・コンパクト化を実現/圧力に比例するDC0〜10V(出力分解能14bit)を出力し、Logリニア
出力により数式による圧力換算が可能/トランスデューサTRP-11はDC12〜30Vの電源電圧で駆動し、表示器はAC100〜240Vの範囲で使用可能/センサ制御回路」一体化により電源表示器なしでの使用ができ、省スペースを実現。RS-485デジタル通信を標準装備し自動化にも最適/ATM(大気圧)/VAC(高真空)の調整をプッシュスイッチで調整可能/ステータスLED機能でセンサ状態の視認性が向上/各種プロセスの圧力モニタリングに最適です/TRP-11SP(オプション)はセットポイント2点を装備し、真空スイッチとして使用可能。
セットポイントの設定も内蔵スイッチで簡単に設定
  • ピラニ真空計<TRP-11/TRP-11SP>
    TRP-11/TRP-11SP

製品仕様

センサ部仕様

種類・形式 ピラニ真空計:TRP-11/TRP-11SP
温度範囲 運転時:5〜60℃ 保管時:-10〜65℃
カバー材質 ABS樹脂
保護構造 IP40相当
ケーブル長 100m以下(ツイストペアシールド電線を使用のこと)コネクタ標準装備 *2
真空接続
  • NW16(標準)
  • ф15(オプション)
外観寸法 [PDF] [DXF]
質量 約120g/130g(TRP-11SP)

回路部仕様

測定方式 定温度方式
測定範囲 5.0×10-2〜1.0×105Pa
圧力分解能 仮数部(小数点以下2桁を含む3桁)+ 符号付指数部
アナログ出力 DC0〜10V 出力電圧 = LOG(P)+3 負荷抵抗10kΩ以上 電圧分解能0.6mV
付属機構
  • 大気圧(ATM)
  • 高真空(HV)
  • 外部調整スイッチ
デジタル通信 RS-485 2線式半二重 局数:0〜15ch
(9600bps, 8databits, even parity, 1stopbit)
セットポイント *1 2点独立 NPNオープンコレクタ方式 負論理
出力定格:DC 30V 50mA
電源定格 DC24V(12〜30V)35mA/55mA(TRP-11SP)
付属品
  • ミニドライバー
  • コネクタ標準装備 *2
オプション 測定コード:TR-C**
(**はコード長05 = 5m,10 = 10m 5m単位での販売)
カタログPDF カタログ [PDF]

備考

共通仕様
  1. 注1)セットポイントはTRP-11SPとなります
  2. 注2)測定コード付で購入された場合は、コネクタは付属されません

専用表示器 (1CH) <DGC-A12>

特長・用途
真空計トランスデューサTRシリーズ用の電源表示器です/トランスデューサからの圧力信号はデジタル通信で行いますので表示器での圧力変換誤差はありません/2点のセットポイント出力を標準装備/自動化に最適なRS-485デジタル通信を装備/表示器の電源電圧はAC100〜240V※200V専用コネクタはオプション/コンパクトサイズ(H48×W98×D130.65mm)/タイムリーな圧力モニタリングが可能/表示単位は「Pa」と「Pa/133.32」から任意で選択。
  • 専用表示器 (1CH) <DGC-A12>
    DGC-A12

製品仕様

接続機種 TRシリーズ全機種
※TRI-10のみ別途電源(DC20-28V)供給が必要。
接続数:1点 接続コネクタ:D-SUB 9P
圧力表示範囲 接続TRと同等
測定チャンネル 1点
圧力表示部 7セグメントLED
表示桁数 7桁(仮数部:5桁 指数部:2桁)
圧力表示単位 Pa、kPa、Pa/133.32
トランスデューサ通信 RS-485通信(機種自動認識)
通信(サンプリング)周期 100msec
設定
  • 前面キー入力プログラム方式
  • 設定ファンクション:SP1〜2(+、-の2点設定可能)
アナログ出力 圧力信号DC 0〜10V(負荷抵抗10kΩ以上)
上位リンク通信 RS-485(2線式半二重), 通信設定選択式
外部出力
  • 3点(セットポイント1,2、ステータス)
  • NPNオープンコレクタ出力(フォトカプラ絶縁)
  • 定格:DC30V/50mA以下
外部入力
  • 3点(Exit select、ACT_A、ACT_B ON/OFF)
  • 電圧入力(フォトカプラ絶縁)
  • 定格:DC24V ±10%、4.1mA Typ,
接続コネクタ 高密度D-SUB 15P
定格電源 AC100〜240V ±10%、50/60Hz MAX20VA
※200V専用コネクタはオプション
使用環境温度 5〜50℃ 保管時:-10〜65℃(非通電)
相対湿度 20〜90% RH(結露なきこと)
雰囲気 汚染度2
保護構造 IP40相当(パネル取付時)
適合規格 RoHS、LVD EN61010-1、EMC EN61326-1
外形寸法図
質量 約500g

多機能表示器 (3CH)<DGC-A31>

特長・用途
トランスデューサ型真空計を複数台(MAX3台)接続可能/大気圧確認用の汎用圧力センサ(別売)が接続可能/カラー液晶ディスプレイの採用により視認性が飛躍的に向上/ガイド機能で簡単操作/多彩な外部出力を標準装備(セットポイント6点)/表示器の電源電圧はAC100〜240V
※200V専用コネクタはオプション/コンパクトサイズ
(H96×W96×D172mm)
  • 多機能表示器 (3CH)<DGC-A31>
    DGC-A31

製品仕様

接続台数 3台
接続機種 TRシリーズ全機種
※TRI-10のみ別途電源(DC20-28V)供給が必要。
対応圧力センサ 本機器CH3に下記仕様の圧力センサを接続可能
  • 電源電圧:DC24V±10%
  • 圧力信号:DC1~5V
  • 測定レンジ:[真空圧] -100(101)、-10~0 kPaG
  • [連成圧] ±10、±100(101) kPaG
  • [正圧] 0~10、100(101)、1000 kPaG
表示デバイス カラーTFT液晶ディスプレイ
圧力表示
  • ピエゾ型隔膜真空計を接続する場合:小数表示形式
  • 圧力センサを接続する場合:小数表示形式
  • その他トランスデューサを接続する場合:指数表示形式
  • 仮数部2桁、3桁(任意設定)+符号+指数部1桁
圧力単位 Pa、kPa、kPaG、Pa/133.32(任意設定)
トランスデューサ通信 RS-485 2線式半二重 通信周期:200ms
周囲温度範囲 運転時:5~50℃ 保管時:-10~65℃
電源定格 AC100~240V ±10%、50/60Hz、30VA
アナログ出力 0~10V (負荷抵抗:10kΩ以上)
上位リンク通信 RS-485 2線式半二重または4線式全二重(通信設定選択式)
保護構造 IP40相当(パネル取付時)
適合規格 RoHS、CE
コネクタ形状
  • トランスデューサコネクタ:9Pin D-SUBレセプタクル
  • アクセサリコネクタ:高密度15P D-SUBレセプタクル
  • リモートI/Oコネクタ:25P D-SUBレセプタクル
セットポイント 6点(オープンコレクタ出力) 出力定格:DC30V 50mA
リモート入力 5〜50℃ 保管時:-10〜65℃(非通電)トランスデューサ制御信号入力(測定on-off、圧力調整など)
電圧入力(フォトカプラ絶縁) 定格:DC24±10%、4.1mA
最大コード長 接続トランスデューサによる
外形寸法 W96mm×H96mm×D172mm
取付穴寸法 W92mm×H92mm
外形寸法図
質量 840g

ピラニゲージユニット PSG-1

特長・用途
センサ+制御回路一体化/DC12〜24Vの電源電圧で駆動します/レコーダ出力付/センサと制御回路が分離可能な為、フィラメント断線等の場合でも、
センサ部の交換が可能/オプションにより、セットポイント出力を2点装備でき、
圧力スイッチとして使用可能
  • ピラニゲージユニット PSG-1
    PSG-1

製品仕様

回路部

測定方法 定温度方式
測定範囲 1.0×105〜1.0×10-1Pa
圧力信号出力 方式 4-20mA
負荷抵抗 400Ω以下
断線信号出力 方式 オープンコレクタ
出力論理 ノーマル・クローズ
定格 DC 30V/50mA
オプション出力
セットポイント2点独立
方式 オープンコレクタ
出力論理 ノーマル・クローズ
定格 DC 30V/50mA
電源電圧 DC 12〜15,24V
消費電流 150mA

センサ部

使用周囲温度 0〜40℃
カバー材質 Al
カラー マンセル値 N-6.5
外形寸法 63ф×120L
真空接続 15ф(標準)またはNW16(オプション)
外観寸法図 [PDF] [DXF]
コネクタ形状 9ピン D-SUBコネクタ
ケーブル長 100m以下
質量 約200g

PT-3DA

特長・用途
簡単なキー操作/セットポイントは6点装備/レコーダ出力付/RS485/RS422Aシリアル通信を装備し(オプション)1回線16台
まで、ホストコンピュータで制御及びデータ管理が行えFA化に対応/測定子を最大3本まで接続可能(オプション)/マルチ表示モード機能により3点測定値を同時表示可能/各種真空装置用
  • PT-3DA
    PT-3DA

製品仕様

測定範囲 1.0×105〜1.0×10-1Pa
サンプリング周期 100msec
外部出力 セットポイント 6点
補助機能 ヒステリシス値、出力論理、センサチャンネル割付
定格 AC125V 0.3A 抵抗負荷
ステータス AC125V 0.3A 抵抗負荷(各チャンネル独立)
REC OUT出力 フルレンジ DC 0〜5/0〜10V
使用温度 0〜40℃
外部入力 INT/EXT Disp.CH.SET
電源電圧 AC100〜240V 50/60Hz 30VA
測定子 PSG-1
質量 本体 1700g
測定子 200g
外観寸法 [PDF] [DXF]
パネルカット寸法
標準付属品 PSG-1(ф15)
  • 電源コード:3m
  • 測定コード:2m
オプション
  • 2〜3ch同時測定
  • BCD出力
  • RS485/RS422A
  • プリンタ出力
  • PSG-1(NW16)
  • 測定コード:5・10・20m

PT-3PM

特長・用途
1レンジ大型アナログメータ採用で読取が容易/低価格/レコーダ出力付/メータリレー付/圧力モニタ用/研究開発用
  • PT-3PM
    PT-3PM

製品仕様

測定範囲 1.3×102〜1.3×10-1Pa
測定レンジ 1レンジ
測定法 定電圧測定回路
REC OUT出力 1レンジ DC:0〜10mV
メーターリレー接点容量 2点 AC100V 1A
使用温度 0〜40℃
電源電圧 AC100V 50/60Hz 4VA
測定子 P-3 ф15
質量 本体 1900g
測定子 100g
外観寸法 [PDF] [DXF]
パネルカット寸法
測定子 測定子:P-3(ф15)
  • 電源コード:2m
  • 測定コード:2m
オプション 測定子 P-3(NW16)
測定子コード 5・10・20m

PT-4P

特長・用途
小型アナログメータ採用/低価格/レコーダ出力付/小型・軽量/圧力モニタ用/簡易真空装置用
  • PT-4P
    PT-4P

製品仕様

測定範囲 1.3×102〜1.3×10-1Pa
測定レンジ 1レンジ
測定法 定電圧測定回路
REC OUT出力 DC:0〜10mV
使用温度 0〜40℃
電源電圧 AC100V 50/60Hz 2VA
測定子 P-3 ф15
質量 本体 700g
測定子 100g
外観寸法 [PDF] [DXF]
パネルカット寸法
測定子 測定子:P-3(ф15)
  • 電源コード:2m
  • 測定コード:2m
標準付属品 測定子:P-3(ф15)
  • 電源コード:本体直出し 2m
  • 測定コード:本体直出し 4m

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