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グローブボックス・ガス循環精製装置

グローブボックス・ガス循環精製装置

グローブボックス

ガス循環精製装置付
グローブボックス複合システム
ガス置換型
ガス置換型
真空型
真空型

ガス循環精製装置

  • 真空型、ガス置換型グローブボックスを自在に組合わせ可能
  • 熱処理炉、蒸着装置、ホットプレス等の装置との組合わせも可能
  • 真空型・ガス置換型対応
  • 複数グローブ型・対面作業型対応
  • 短時間で水分・酸素濃度を1ppm以下に落とすことを実現
  • グローブボックス下部に設置した省スペースタイプもご用意

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◆ガス循環精製装置付グローブボックス ガス置換型/真空型 標準仕様
到達圧力
  • 30Pa以下(真空型のみ)
圧力制御
  • 0.05〜0.15kPa(内圧自動制御およびフットスイッチによる調整)
本体
  • SUS304製・内面バフ研磨
  • 8インチグローブ(ブチルゴム製)
パスボックス
  • SUS304製・内面バフ研磨
  • 真空排気可能
精製濃度
  • 酸素 1ppm以下
  • 水分 1ppm以下
※弊社製グローブボックスと接続した場合
オプション
  • 酸素濃度計(ジルコニア式、電気化学式セル)
  • 水分濃度計
  • 炭化水素濃度計
  • ※複数グローブ型、特殊型等もご用意しております
◆ガス循環精製装置 標準仕様
適用ガス
  • 窒素およびアルゴンなどの希ガス
精製濃度
  • 酸素 1ppm以下
  • 水分 1ppm以下
弊社製グローブボックスと接続した場合
除去ダスト
  • 0.5μmフィルタ使用
オプション
  • HEPAフィルタ(0.3μm)
  • 活性炭フィルタ
  • 貴金属触媒
  • 精製塔過温センサ
  • 供給の不活性ガスでバルブを駆動できます
  • 圧力制御システム、酸素濃度制御システム
  • 循環風量測定用流量計
◆活性炭フィルタ
  • 有機物、EL、電池材料、ハロゲン化物処理、活性材料、各種超微粉末
  • *外観・仕様については改善のため予告なく変更することがあります。

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