熱処理炉（メタルヒータ）

特徴: 研究・開発に適したコンパクト&エコノミー／高温加熱可能（2500℃真空中）／メタルヒータにて高真空・クリーン
用途: 磁性材料／電池材料／生体材料

本排気装置は真空中またはガス雰囲気中にて、種々の材料を熱処理する事を目的とします。

標準仕様

	1600℃タイプ	2500℃タイプ
加熱温度	MAX.1650℃（真空中） NOR.1500～1600℃（真空中）	MAX.2550℃（真空中） MAX.1650℃（Arガス中） NOR.1500～2500℃
温度分布	1500℃にて幅15℃以内（真空中）ф30×H60	1900℃にて幅15℃以内（真空中）ф30×H60
到達圧力	1.3×10^-3Pa （空炉脱ガス完了後常温時）	1.3×10^-4Pa （空炉脱ガス完了後常温時）
加熱室	形状：円筒縦型上面開閉扉式真空チャンバ（水冷ジャケット式）寸法：約ф310×H325 材質：内面SUS304　外面SS400 覗窓：視野ф14 その他：水冷電極・ガス導入弁
加熱炉	ヒータ：タングステンメッシュヒータ容量：1ф　5kW 制御：熱電対	ヒータ：タングステンメッシュヒータ容量：3ф　15kW 制御：熱電対・対放射温度計切替式
真空排気系	手動式（DS-312Z排気セット）主ポンプ：200L/s（油拡散ポンプ）油回転ポンプ：150L/min 真空計：ピラニ真空計　PT-４P ピラニ真空計　PT-４P	手動式（DS-435T排気セット）主ポンプ：330L/s（ターボ分子ポンプ）油回転ポンプ：150L/min 真空計：ピラニ真空計　PT-４P ピラニ真空計　PT-４P
電気系	加熱炉用電源・制御部品は架台内蔵式
安全対策	本体：断熱リレー・安全弁
ユーティリティ	スペース：W1300×D1350×H1850 水圧：0.13～0.15MPa 水量：約15L/min 電圧：3ф　200V 電力：12ｋVA	スペース：W1300×D1350×H1850 水圧：0.13～0.15MPa 水量：約30L/min 電圧：3ф　200V 電力：21ｋVA